実験ノウハウ

高温アニール時の真空度維持と試料汚染の回避を両立するための、試料サイズ・ホルダ材料・ネジ材質の選び方を経験則からまとめます。

平坦なテラスと段差が交互に並ぶステップ＆テラス構造の基本概念と作製方法、シングルステップの限界について解説します。

同じ“clean surface”でも、表面科学と電子デバイス・一般工学では意味が大きく異なります。両分野での「清浄」の違いと共通点を整理します。

研究室に配属されたばかりの学生向けに、脱ガス・フラッシング・アニールの3工程でSi(111)-(7x7)清浄表面を作る手順とポイントをまとめました。